奈米壓印製程設備
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奈米壓印介紹 Introduction
奈米壓印技術基本上是先行製作奈米圖案於可透UV光之子模上,隨即將高分子材料均勻塗佈於基板上;在利用先前製作之具有奈米圖案之子模以適當的力量施壓於所使用之基板上,將圖案轉印到高分子材料上的方法;並施以紫外光(ultraviolet, UV)照射,使高分子材料產生聚合反應而固化。如此即可將奈米圖案轉移至欲圖案化之基板上。奈米壓印機是大面積轉印機經過產業驗證良率可達95%以上的機型 。
機型
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